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單點少子壽命測量儀系統是經濟型晶圓壽命測量儀器,對不同制備階段的硅材料電學參數進行表征。單點少子壽命測量儀可測量小于156mm厚度的晶錠,沒有自動化配置,手工操作。可增配電阻率測試功能,適合硅，晶圓片和晶錠壽命測量。
| 樣品 | 不同工藝處理樣品，如鈍化或擴散后的單晶或多晶硅晶圓、晶錠、電池等 |
| 樣品尺寸 | 50 x 50 mm2 到12“ 或210 x 210 mm2 |
| 電阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
| 材質 | 硅晶圓，晶錠，部分或全部加工晶圓，化合物半導體和其它類型 |
| 少子壽命檢測范圍 | 20ns到幾十ms |
| 尺寸 | 360 x 360 x 520 mm，質量：16 kg |
| 電源 | 110/220 V, 50/60 Hz, 3 A |
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