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大面積掃描開爾文探針系統能夠在垂直方向移動開爾文探針實現電動控制開爾文探針與樣品的距離。 樣品安裝到真空吸盤上，真空吸盤可帶著樣品移動150x150mm位移，從而實現開爾文掃描探針系統大面積掃描樣品表面。探針系統、開爾文探針系統、掃描開爾文、大面積掃描開爾文、掃描開爾文探針系統
大面積掃描開爾文探針系統特色:
電動控制開爾文探針與樣品的距離
電動控制樣品XY移動范圍150 mm x 150 mm
具有編碼器的主動定位定位追蹤系統
Z方向步進大小: 625 nm
X - and Y-方向: 5 µm / microstep
功函分辨率:: < 1 meV with 1.4 mm tip diameter on metals
小的探針直徑: 0.1 mm
集成法拉第防護功能
框架表面鍍金
開爾文探針頭采用純金工藝
大外形尺寸: 50 cm (W) x 60 cm (D) x 25 cm (H)
大樣品尺寸: 150 mm x 150 mm
真空樣品吸盤
包含參考樣品標準: HOPG, Au on Si, Al/Au-edge, Potential Check
可選配溫度和濕度傳感器
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