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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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紅外光譜橢偏儀IRSE
型號：TFProbe IRSE
橢圓偏振光譜（SE）是一種成熟的光學技術，用于表征塊狀材料，薄膜，涂層，表面層和嵌入式層。實現這種技術的波長范圍取決于應用。紅外（IR）波長范圍備受關注，因為材料表現出的結果與在紫外線（UV）和可見光波長范圍內觀察到的結果有很大不同。例如，大多數非摻雜半導體都是透明的；電介質特征吸收鍵；金屬或摻雜的半導體表現出Drude吸收尾等。因此，紅外光譜橢圓儀（IRSE）可以表征材料的結構（厚度，界面，表面粗糙度，污染），光學（光學常數），電（導電性）以及化學信息。
應用案例：
1）零裝材料：玻璃，PET，摻雜硅
2）硅外延層：
•摻雜輪廓
•薄外延層（<1 um）
•低對比度N / N外延層
3）半導體外延層（GaAs，Insb，SiC，SiGe，CdHgTe等）
4）介電膜表征
5）應用于FPD的硅層
6）監測a-Si：H工藝質量（CVD，ELA工藝）
7）SiN層中Si-H和N：H的相對含量
8）ITO膜：光學和電學表征
9）BPSG，PSG：硼和磷的濃度
10）低k材料：
•有機低k材料：
確定厚度和光學常數；
計算碳含量（％C）；
確定退火前后的水含量；
•SiOC：H：碳含量和孔隙率
•多孔SiO 2：厚度，孔隙率，水含量
11）溝槽，過孔，凹槽和淺溝槽隔離（STI）
12）SOI光波導：厚度測量
特征：
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系統配置：
•光源：使用壽命長的Polaris™紅外光源
•光譜儀：
邁克爾遜干涉儀雙端口輸出
Ge on KBr分光鏡
高精度HeNe參考激光器
可變光圈光圈
BaF2涂層KBr窗口
•可變入射角：5度間隔20 – 90度
•角度更改模式：手動，帶預設插槽
•偏光光學元件：電動柵格紅外偏光片
•檢測器：帶有KBr窗口的TE冷卻DLaTGS檢測器
•載物臺：高精度Z載物臺，可傾斜
•樣品盤：直徑200mm，水平放置
•通訊：USB 2.0
•電腦：Intel i5處理器，8GB內存和500GB帶有鍵盤和鼠標的硬盤
•顯示器：22英寸液晶顯示器
•軟件：TFProbe 3.3
