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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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特點：
÷ 直驅無刷微調電機
÷ 全軸電機驅動且*可編程
÷ 具有程序菜單管理功能的軟件控制
÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋
÷ 旋轉器蓋傳感器控制
÷ 通過觸摸屏或按鈕啟動程序
÷ 7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺式外殼
÷ 外殼上的電源開關ON / OFF
÷ 配備標準的水坑噴嘴，通過水坑噴嘴注入溶劑
÷ 可拆卸處理碗和飛濺環，便于清潔
÷ 可處理圓形晶片，尺寸大為Ø200mm（Ø8英寸）
÷ 可處理方形基板，尺寸大為150 x 150毫米（6 x 6英寸）
÷ 標配多安裝3個介質管線/噴嘴（可選：多5個介質管線/噴嘴）
÷ 可視真空控制儀
÷ 真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動和系統運行來控制
÷ 含0.5 Itr的廢液瓶
÷ 可選的帶Z軸移動和PR分配系統的電動介質臂
÷ 可作為臺式安裝，也可做獨立裝置使用
÷ 簡單且經濟高效
÷ 專為研究所，實驗室和基礎研發而設計
應用于：旋涂，顯影，清潔和干燥
產品參數：
可處理襯底尺寸：直徑大為Ø200mm（Ø8英寸）圓片，或大為150 x 150毫米（6 x 6英寸）方片；
旋轉速度：10,000rpm *，（以rpm步長為單位）；
加速度：4.000 rpm / sec *；
處理時間：1至999,9sec，以0.1秒為步；
處理碗：可更換，聚丙烯（PP）材質
腔體：白色（PP）材質
固定晶圓片或襯底的裝置：真空托盤；
電源：230（208）VAC / 1Phase/ N / PE / 50（60）Hz
真空：-0.8 bar / -600 Torr，管外直徑6 mm
排氣-過程：1x外徑38毫米，約 30立方米/小時
氮氣（可選）：4土0.2 bar，PFA管外徑6 mm
CDA（可選）：8土2bar，管外徑8mm。
選配項：
適用各種尺寸大小的托盤
分配臂
泵
