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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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溫度模塊設計用于單面烘烤用于烘烤前和烘烤后的基材。帶有氣動升降銷的烘焙模塊配有一個手動PID控制器和計時器開關。 經過微處理（PID）控制器用于高測量溫度控制準確性。 確定過程的設定值和參數用5場塑料薄膜鍵盤調節?？勺杂删幊痰亩〞r開關有兩個可調派生計時器和兩個省略計時器。 與各種參數的可能性，兩個輸出觸點和兩個切換輸入將允許使用任何一種應用程序可以使用的。 計時器可以使用前按鈕和開關輸入。
特點：
溫度模塊（氣動）
加熱板系統帶有氣動升降頂針
加熱板模塊（300°C）
氣動頂針
標準的頂針由不銹鋼和PEEK制成（250°C）
加熱板表面上的真空管道用于固定基板
手動控制加熱板的頂蓋
集成式排氣
手動控制器單元：
• 1個PID 控制器，用于在高測量時進行溫度控制。通過調節薄膜鍵盤的5個鍵來設定關鍵參數。
• 1個計時器開關，帶有兩個可調微分計時器和兩個延時計時器，并可以設置各種參數。
可以使用前按鈕和開關輸入來啟動和停止計時器。
產品參數：
基板尺寸：直徑200毫米（直徑8英寸）圓片或200x 200毫米（8 x8英寸）方片；
溫度范圍：300°C *，以1°C/步可調；
溫度精度：在100°C時<士1°C；
升降針(1套）：直徑50 mm（直徑2英寸）到直徑200 mm（直徑8英寸）或200x 200mm（8 x8英寸）；
加熱臺表面：由硬質陽極氧化鋁制成；
加熱臺頂蓋：由微拋光不銹鋼制成；
加熱臺外殼：由PP制成；
控制器單元：1個PID控制器，1個計時器；
電壓：230（110）VAC / 1Ph / N / PE / 50（60）赫茲；
CDA：8 bar，管外徑6 mm；
真空：-0.8 bar / -600bar，管外徑6 mm；
排氣爐：1 x 外徑 40毫米，80立方米/小時；
