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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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桌面微型紫外光刻機
產品介紹
桌面微型紫外光刻機，專為微米級圖案制作而設計，旨在保障圖形轉移精度。設備采用紫外LED冷光源，結合雙非球面石英透鏡，可生成半角<2°的平行光，相較傳統接觸式曝光機，其緊湊的體積將移形換影置于桌面之上，為操作提供了便利與精準。
該光刻機廣泛適用于微流控芯片、MEMS器件、光電子器件以及聲表面波器件等制備領域。其性能尤其適合高校、科研院所以及企業展開微細加工工藝研究。緊隨現代技術的步伐，桌面微型光刻機的問世為微納加工注入了新的活力，助力客戶在項目目標的實現過程中邁向更高精度、更具創新性的階段。
技術參數
曝光光源:紫外LED；
光源波長:365nm;
曝光面積:4英寸、6英寸可選;
曝光方式:單面接觸式定時曝光；
曝光分辨率:2um;
曝光強度:30~120mW/cm2可調；
曝光不均勻性:<5%;
光源平行性:≤2°
光源壽命:>20000h;
電源輸入:AC220V+10V，50HZ
