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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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特點
可處理基板尺寸最大6"x 6" (150 x 150mm) 方片或 ? 8" (? 200mm)圓片
采用真空或微接觸夾具針對圓形和方形基板 不同尺寸的圓片/方形片的夾具可容易更換
真空安全聯鎖功能
觸摸屏輸入
顯示 啟動、停止及真空操作按鈕
可編程速度和加速度
馬達轉速最大可達10000轉/分鐘
易拆卸雙片腔體本體和防濺環
網絡接口
USB接口
選項
? 電子流體輸送手臂--移動速度和位置可編程
? 液體噴嘴 – 噴霧型,射流型
? 熱流體線，最高80°C
? 真空或微接觸夾具 – 不同尺寸
? 可拆卸工藝腔體及防濺環
? 熱板
? 熱板接近式烘烤, 手動可調接近距離
? 可編程接近距離熱板
? 真空泵
? 附加HMDS熱板
性能參數
觸摸屏程序輸入
? 程序數: 100
? 程序步數: 50
? 最長單步時間: 999秒
? 單步時間分辨率: 0.1秒
旋轉馬達
? 旋轉速度: 最高 10.000 轉/分鐘*
? 轉速分辨率: 1轉/分鐘
? 旋轉精度: ± 2 轉/分鐘
? 加速度: 最高 50,000 轉/分鐘/秒* *和基片重量有關
熱板
?溫度范圍: 最高 300°C
?溫度分辨率: 0.1°C
? 溫度均勻性( 100°C 時) : < ± 0.5°C
動力需求
?電源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A
? 壓縮空氣: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD ?8mm
? 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD ?8mm
? N氮氣 (選項): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD ?6mm
設備外形(寬 x 深 x 高):
?落地式柜體: 約 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6"x 25.6"x 52")
?帶水平調節
?不銹鋼框架
