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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話(huà)
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
聯(lián)系電話(huà)
新的改進(jìn)和創(chuàng)新設(shè)計(jì)的 德國(guó)進(jìn)口 SPS勻膠機(jī) Polos旋涂?jī)x SPIN系列 SPIN200x 型號(hào)，它是一種多功能的高質(zhì)量基材旋涂機(jī)，由NPP制成，也可采用PTFE 制成。它是專(zhuān)門(mén)為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)的。它是用于手動(dòng)或自動(dòng)（可選）化學(xué)品分配的桌面版本。
德國(guó)進(jìn)口 SPS勻膠機(jī) Polos旋涂?jī)x SPIN系列 SPIN200x 全新升級(jí)版現(xiàn)已上市
我們?nèi)赂倪M(jìn)設(shè)計(jì)的POLOS® SPIN200x勻膠機(jī)型號(hào)現(xiàn)已開(kāi)放訂購(gòu)。該型號(hào)提供精準(zhǔn)且可重復(fù)的工藝控制，主體材質(zhì)采用天然聚丙烯（NPP），或可選耐化學(xué)腐蝕的**聚四氟乙烯（PTFE）**版本。
此型號(hào)基于市場(chǎng)驗(yàn)證的經(jīng)典型號(hào)升級(jí)開(kāi)發(fā)，提供標(biāo)準(zhǔn)版與進(jìn)階版兩種配置，可兼容處理：
①直徑最大200 mm的圓形基板
②150×150 mm的方形樣品
專(zhuān)為半導(dǎo)體、光伏、MEMS及納米材料領(lǐng)域設(shè)計(jì)，適用于多種基材的涂覆加工，性能可靠，適配嚴(yán)苛工藝要求。
品牌 | Polo |
型號(hào) | SPIN200x |
樣品尺寸 | 晶圓：最大直徑 8" (200 mm) 方片：最大6"x6"（150mm） |
最高轉(zhuǎn)速 | 12000rpm |
加速度 | 1~30000rpm |
旋轉(zhuǎn)方向 | 可正反轉(zhuǎn) |
一．創(chuàng)新設(shè)計(jì)亮點(diǎn)
優(yōu)秀的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
特殊外殼與排水系統(tǒng)設(shè)計(jì)，支持桌面式與嵌入式安裝模式自由切換。模塊化結(jié)構(gòu)允許用戶(hù)通過(guò)多樣化配件升級(jí)設(shè)備，優(yōu)化點(diǎn)膠操作與整體流程便捷性。
二．電機(jī)歸位位置自定義
全新SPINx系列支持設(shè)定電機(jī)歸位位置，便于無(wú)縫集成至機(jī)器人控制/自動(dòng)化產(chǎn)線(xiàn)環(huán)境。
三．便捷腔體訪問(wèn)
真空吸盤(pán)高于勻膠碗邊緣，確保機(jī)械手末端執(zhí)行器、鑷子或真空吸筆可直接觸達(dá)晶圓/基板，滿(mǎn)足機(jī)器人操作的特殊需求。
四．自動(dòng)開(kāi)蓋系統(tǒng)
可通過(guò)用戶(hù)界面或腳踏開(kāi)關(guān)（適配手套箱環(huán)境操作）實(shí)現(xiàn)蓋體自動(dòng)開(kāi)閉
支持在工藝配方結(jié)束時(shí)自動(dòng)觸發(fā)開(kāi)蓋動(dòng)作
五．液體過(guò)濾保護(hù)裝置
SPINx系列配備液體過(guò)濾器，有效保護(hù)勻膠機(jī)核心組件（驅(qū)動(dòng)單元、真空閥、真空傳感器及伺服控制器）。該裝置可攔截通過(guò)工藝腔或真空吸盤(pán)進(jìn)入管路的液體，所有光刻膠或流體將被安全收集至透明觀察瓶?jī)?nèi)（通過(guò)設(shè)備外殼視窗可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)）。維護(hù)建議：定期檢查收集瓶并按需清理殘留液體。
六．適用工藝范圍
涂覆（Coating）
清洗（Cleaning）
沖洗/干燥（Rinse/Dry）
顯影（Developing）
蝕刻（Etching）
PDMI及其他特殊工藝
SPIN200x硬件規(guī)格
類(lèi)別 | 參數(shù)細(xì)節(jié) |
工藝腔材質(zhì) | 天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（PTFE，僅限Advanced版可選） |
最大基板尺寸 | 8英寸（200毫米）晶圓 或 6×6英寸（150毫米）方形基板 |
核心功能 | 液體過(guò)濾裝置、自動(dòng)開(kāi)蓋系統(tǒng)（進(jìn)階版含腳踏控制）、可編程電機(jī)歸位位置 |
點(diǎn)膠系統(tǒng) | 中央注射器/點(diǎn)膠嘴適配接口 |
安全設(shè)計(jì) | 蓋體鎖定裝置、真空傳感器 |
人機(jī)交互 | 大尺寸可拆卸觸摸屏、USB接口（配方存儲(chǔ)與軟件升級(jí)） |
驅(qū)動(dòng)單元技術(shù)參數(shù)
1.驅(qū)動(dòng)類(lèi)型：間接無(wú)刷電機(jī)，最高轉(zhuǎn)速12,000 RPM
2.控制精度：高加速性能，轉(zhuǎn)速范圍1 - 30,000 RPM（需確認(rèn)實(shí)際可達(dá)性）
3.旋轉(zhuǎn)模式：順時(shí)針/逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)及靜態(tài)浸潤(rùn)（Puddle Mode）
4.安裝兼容性：支持桌面式與嵌入式模式切換
標(biāo)準(zhǔn)配件
真空吸盤(pán)（適配4-8英寸/100-200毫米晶圓）
基板適配器套裝
