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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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S1800系列光刻膠
shipley s1813光刻膠
產品介紹：
S1800系列， 正膠、紫外光刻膠。
光源推薦：g-Line，也可以用于寬譜。
單層厚度：0.4-2.7um。
型號：
S1805 G2/S1813 G2/S1818 G2
應用：
應用于濕法腐蝕和干法刻蝕，也與底層膠LOR搭配，做lift-off 工藝。
特性：
● 通過ZXJ的物理、化學和功能測試，保證批次與批次之間的一致性
● 絕對過濾精度0.2um，雜質少
● 不含醋酸纖維素和二甲苯
● 高分辨
● 粘附性好
● 涂膠厚度均勻
● 多種標準粘度可用于單層加工
● 可適用于無金屬離子的(MIF)顯影液和含金屬離子的顯影液(MIC)
● 易去膠
S1800系列配套顯影液
shipley s1813光刻膠
型號：
MICROPOSITR MF-319 DEVELOPER
主要成分：
水 ＞95% CAS 7732-18-5
表面活性劑 ＜1%
四甲基氫氧化銨 2.2% CAS 75-59-2
原理與使用方法：
MF-319顯影液專門用于高分辨率半導體器件。它是S1400®和S1800®系列光刻膠的專用無金屬離子的顯影液。雖然MF-319顯影液可以用于浸泡顯影、旋噴顯影，但較好的顯影方式是噴霧式或者puddle式顯影。
儲存:
存儲在干燥區域，溫度范圍為50°-90°F（10°-32°C）。
遠離酸、陽光、熱源和火源。
放入密封的貯藏器。
