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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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高感光度標(biāo)準(zhǔn)G線正型光刻膠
AZ1500系列G線光刻膠
為廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域而優(yōu)化的高感光度G線正型光刻膠
特征：
1) 高感光度,高產(chǎn)出率
2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進(jìn)
3) 廣泛應(yīng)用于全球半導(dǎo)體行業(yè)
AZ1500系列G線光刻膠參考工藝條件：
前烘 ：100℃ 60秒 (DHP)
曝光 ：G線步進(jìn)式曝光機(jī)/接觸式曝光機(jī)
顯影 ：AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle
清洗 ：去離子水30秒
后烘 ：120℃ 120秒 (DHP)
剝離 ：AZ剝離液及/或氧等離子體灰化
產(chǎn)品型號(hào)：AZ1500
Viscosity:4.4mPa 20mPa 38mPa 90mPa
AZ1500系列G線光刻膠 旋涂曲線：
AZ1500系列i線光刻膠 圖案輪廓：
