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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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光刻膠 SPR 955系列
光刻膠SPR955產品介紹：
SPR 955-CM系列，正膠、紫外光刻膠。
光源推薦：i-Line。
單層厚度：0.7-3.5um。
光刻膠SPR955型號：
SPR 955-0.7/SPR 955-0.9/SPR 955-1.1/SPR 955-1.4/SPR 955-1.8/SPR 955-2.1
光刻膠SPR955應用：
MEGAPOSIT SPR955-CM系列光刻膠是一種通用的、高分辨率的i-Line光刻膠，可用于0.35µm的前端和后端應用。也與底層膠LOR/PMGI-SF搭配，做lift-off 工藝。
光刻膠SPR955特性：
● 高分辨率（undercut）
● 在多晶硅實現高密度線條和空間，或者獨立線條。
● 在氮化鈦上實現高密度，高深寬比的線條和空間
● 在氧化硅上刻蝕密集孔
● 高深寬比的孔
● 靈敏度高
