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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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甩膠機(jī)(英文名：Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜 型號(hào)WS-650Mz-23NPPB (美國(guó)NIST*工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證） 1、產(chǎn)品概述： 2、甩膠機(jī)工作原理： |
三、勻膠機(jī)性能指標(biāo)及特點(diǎn)：
1、該甩膠機(jī)采用美國(guó)*技術(shù)：
2、Laurell甩膠機(jī)采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計(jì)，這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方；
3、甩膠機(jī)真空Chuck經(jīng)精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進(jìn)口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調(diào)整墊，可保障主軸具有較高的精度。
4、智能型調(diào)節(jié)勻膠工作時(shí)間，1秒至99分59.9秒任意范圍，zui小時(shí)間增加精度0.1秒；
5、650S 型甩膠機(jī)大致有兩個(gè)轉(zhuǎn)速范圍，主軸轉(zhuǎn)速范圍寬，加速度高。*階段，通過(guò)500~1000RPM的轉(zhuǎn)速，旋轉(zhuǎn)5~10秒鐘，使膠液得以平鋪開(kāi)，而膠液厚度主要通過(guò)第二階段的速度變化來(lái)控制，一般轉(zhuǎn)速在1500RPM~6000RPM，旋轉(zhuǎn)時(shí)長(zhǎng)從幾秒鐘到幾分鐘，如此既可以得到幾百個(gè)納米到數(shù)十個(gè)微米之間的均勻薄膜，也是可以無(wú)極變速的。根據(jù)旋涂的需要設(shè)定不同的轉(zhuǎn)速，對(duì)不同的材料進(jìn)行均勻的涂膜。
6、高精度數(shù)碼控制器，美國(guó)Laurell甩膠機(jī)的數(shù)碼速度控制器采用的是一個(gè)高計(jì)數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器，其設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。通過(guò)PLC控制系統(tǒng)，運(yùn)行干擾小，可靠性高。人機(jī)交互按鍵顯示操作，界面友好，更直觀便捷，用戶可靈活編制、儲(chǔ)存、調(diào)用和修改工藝參數(shù)。甩膠機(jī)可以設(shè)定多達(dá)20個(gè)程序段來(lái)存儲(chǔ)不同材料的制備過(guò)程，每個(gè)程序段都能設(shè)定51步速度改變，當(dāng)前參數(shù)具斷電保護(hù)功能。650S系列，除了對(duì)于轉(zhuǎn)速的精密控制以外（轉(zhuǎn)速范圍1~12000轉(zhuǎn)/分，分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，加速度可達(dá)80000RPM/S，zui低則可達(dá)1RPM/S）。MSC-650S型可以通過(guò)USB通訊接口連接電腦，以及隨機(jī)附帶的SPIN3000分析軟件進(jìn)行功能多樣的可視化操作。對(duì)于每次實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析調(diào)試，并挑選出*的制備過(guò)程，所有數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過(guò)電腦輸出并予以保存，完成從單純旋轉(zhuǎn)機(jī)器到旋涂?jī)x器的升級(jí)。
7、高精度甩膠機(jī)加速度和速度的穩(wěn)定性：標(biāo)準(zhǔn)速度范圍100-12,000 轉(zhuǎn)/分鐘（RPM）[分辨率：<0.5 轉(zhuǎn)/分鐘（RPM）可重復(fù)性：±0.5 轉(zhuǎn)/分鐘，經(jīng)美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）認(rèn)證過(guò)的，并且無(wú)需再校準(zhǔn)！]
8、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低，保證涂覆表面均勻，保證通過(guò)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
9、甩膠機(jī)腔體配備吹氮(N2)功能，或壓縮空氣、氮?dú)鈮毫赏ㄟ^(guò)調(diào)壓閥和節(jié)流閥實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)，與配套真空泵一同使用。
