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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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NX-B100多功能整片基板納米壓印系統（熱壓印）
系統概述：
NX-B100/B200整片基板納米壓印系統經過了大量的實時實地驗證,質量可 靠,性能*穩定。具備全部壓印模式:熱固化、紫外固化和壓印。基于獨 特保護的Nanonex氣墊軟壓技術(ACP),不論模版或基板背面粗糙程 度如何,或是模版或基板表面波浪和弧形結構,NX-B100/B200均可對其校 正補償從而獲得的壓印均勻性, ACP消除了基板與模版之間側向偏 移,有效地延長了模版使用壽命。通過微小熱容設計可獲得快速的熱壓印周 期,zui終得到快速的工藝循環。
主要特點：
所有形式的納米壓印
? 熱塑化
? 紫外固化 (NX-B200)
? 熱壓與紫外壓印同時進行
(NX-B200)
? 熱固化 氣墊軟壓技術(ACP)
? Nanonex技術
? *的整片基板納米壓印
均勻性
? 高通量
低于10nm分辨率 快速工藝循環時間(小于60秒) 靈活性
? zui大75毫米直徑壓印面積
? 各種尺寸及不規則形狀模
板與基板均可壓印
? 方便用戶操作
基于超過12年、15代產品開發 經驗的自動化壓印操作
Nanonex壓印系統經過大量實 時實地驗證,質量可靠,性 能*穩定
全自動納米壓印
系統參數：
熱塑壓印模塊(NX-B100/B200) ? 溫度范圍0~250oC
? 加熱速度>200oC/分鐘
? 制冷速度>60oC/分鐘
? 壓力范圍0 ~ 3.45 MPa(500 psi)
紫外固化模塊(NX-B200)
? 58mW/cm2紫外LED光源
? 365納米或395納米波長可選
? 全自動化控制
模版裝載功能
? zui大3英寸模板可用于標配納米壓印系統
基板裝載
標配納米壓印系統可裝載3英寸基 板 各種尺寸及不規則形狀模板與 基板均可壓印 *保護ACP技術可zui大 限度保護模板和基板,特別對 于象磷化銦(InP)等極易碎模 板和基板給予zui大限度。
其他參數：
配有微軟Windows的電腦控制系統 用戶友好的控制軟件 程序化控制壓印溫度、壓力和時間 真空和壓縮空氣操作由電腦控制 手動裝載/拆卸基板 自動化壓印操作 設備占地面積:32 × 34 英寸
(810 mm × 860 mm) 應用領域:納米電子和光電子、顯示器、數據存儲介質、*材料、生物科技、納米流道等。
