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供求商機
EMS 150 -EMS 150 膜厚監(jiān)控儀（Film Thickness Monitor）
- 發(fā)布日期：
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- 已獲點擊：
- 2025年2月22日
- 2025年8月22日
- 北京北京市
- 美國
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【產(chǎn)品簡介】
EMS 150 膜厚監(jiān)控儀(Film Thickness Monitor)和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發(fā)鍍膜儀配套使用，以便對膜厚進行監(jiān)控。提供內(nèi)置模塊和外接裝置。
【詳細說明】
EMS 150 膜厚監(jiān)控儀（Film Thickness Monitor）和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發(fā)鍍膜儀配套使用，以便對膜厚進行監(jiān)控。提供內(nèi)置模塊和外接裝置。
石英是離子型的晶體，當發(fā)生拉伸或壓縮時能產(chǎn)生電極化現(xiàn)象，稱為壓電，這是因為其結(jié)晶點陣的有規(guī)則分布所致。石英晶體壓電效應(yīng)的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸，切割類型，而且還取決于芯片的厚度。當芯片上鍍了某種膜層后，芯片的厚度增大，則芯片的固有頻率會相應(yīng)的衰減。膜厚監(jiān)控儀就是通過測量頻率或與頻率有關(guān)的參量的變化而監(jiān)控淀積薄膜的厚度。
膜厚監(jiān)控儀（FTM）是如何工作的呢？鍍膜時，膜厚監(jiān)控儀里面的晶振片的高速振動，測試每秒鐘振動次數(shù)的改變，從所接受的數(shù)據(jù)中計算膜層的厚度。
儀器參數(shù)：
| 儀器尺寸 | 300mm （W） x 150mm （D） x 75mm （H） |
| 重量 | 6Kg |
| 可配套儀器 | EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, EMS 675, EMS 950, and the EMS 975 |
| 晶片座 | 置晶片裝置 |
| 密度范圍 | 1.55 to 23.0g/cm-3 |
| 測控范圍 | 5 to 999nm |
| 鍍碳時精度 | 0.8nm |
| 鍍金時精度 | 0.1nm |
| 電源 | 230V 50 Hz （3 Amp Max） |
訂購信息：
| 貨號 | 產(chǎn)品名稱 | 規(guī)格 |
| 91006 | EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone. | 臺 |
| 91006-M | EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module | 臺 |
| 91008 | Spare Crystals | 盒 |
| 91009 | Spare Glass Cylinder | 個 |