無氧烘箱是如何實現(xiàn)無氧環(huán)境的？

隨著各類產(chǎn)品工藝的日益精進和要求的提高，催發(fā)了無氧烘箱在工業(yè)用途上的普及。尤其是半導(dǎo)體行業(yè)，在此類烘箱的需求上日益旺盛。

那么我們所說的無氧烘箱是如何實現(xiàn)無氧環(huán)境的呢？下面海向小編給大家介紹一下：

無氧烘箱內(nèi)部工作室的無氧環(huán)境主要是通過氮氣置換來實現(xiàn)的。

往設(shè)備腔體內(nèi)經(jīng)專用進氣口和導(dǎo)管充入高純氮氣，氮氣的一般純度在99.99%以上(可以根據(jù)不同產(chǎn)品對氧含量的不同要求來選擇氮氣純度)。

海向無氧烘箱的氮氣排氧控制系統(tǒng)采用雙路氮氣導(dǎo)入回路，各向箱內(nèi)提供0~100L/min+0~480L/min的氮氣，每路配套進口電磁閥，雙流量自動切換，到達(dá)設(shè)定濃度自動關(guān)閉保持低氧濃度環(huán)境，自動切換至低流量氮氣，大大節(jié)省氮氣消耗量，也可根據(jù)工藝制程要求，自行設(shè)定，滿足多種工藝需求。

氮氣壓力檢測-100kpa~100kpa可設(shè)定，當(dāng)腔內(nèi)內(nèi)部氮氣正壓力超出預(yù)警壓力值自動報警切斷進氣閥門。

海向建議大型氮氣烘箱或者氧含量要求較低的，最好自己工廠具備制氮機，因為保持較低的氧含量就需要不間斷的充入氮氣，對氮氣的流量要求較大，而瓶裝氮氣的成本相對較高，故有制氮機是較佳選擇。

氮氣進入后，經(jīng)過高溫加熱再通過過濾器，反復(fù)循環(huán)，達(dá)到要求的數(shù)值。目前，氧含量檢測主要基于氧氣傳感器。接通電源，達(dá)到一定值，氧氣傳感器，開始檢測。

海向建議：不要長時間在潔凈室外使用設(shè)備。長期在有塵環(huán)境中使用。空氣中的大量顆粒灰塵會大大降低空氣濾清器的壽命。