中科院自上世紀90年代初開始研究深紫外非線性光學晶體和激光技術，經過20多年努力，在上生長出可直接倍頻產生深紫外激光非線性光學晶體，并發明棱鏡耦合技術，發展出實用化的  深紫外固態激光源，使中國成為當今世界上*掌握深紫外全固態激光技術的國家。
      深紫外全固態激光源指輸出波長在200納米以下的固體激光器，與同步輻射和氣體放電光源等現有光源相比具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。
　　
       中國科學家利用、*的深紫外技術和深紫外激光非線性光學晶體，已成功研制出深紫外激光拉曼光譜儀、深紫外激光發射電子顯微鏡等8臺深紫外固態激光源前沿裝備，均為當今世界所*的科研利器，居深紫外領域地位。

      總投資1.8億元人民幣的深紫外固態激光源前沿裝備研制項目，2008年啟動實施以來進展順利，現已研制成功的8臺前沿裝備還包括深紫外激光光化學反應儀、深紫外激光光致發光光譜儀、深紫外激光自旋分辨角分辨光電子能譜儀、深紫外激光原位時空分辨隧道電子譜儀、基于飛行時間能量分析器的深紫外激光角分辨光電子能譜儀等水平的儀器設備，另外1臺光子能量可調深紫外激光光電子能譜儀研制工作也已基本完成，正在調試之中，多臺儀器設備已初步用于前沿科學研究，并表現出優異的性能。

     深紫外固態激光技術突破是中國新型科學儀器研發的難得機遇。中科院在前期工作基礎上，正組織專家進一步調研，一方面，將研制成功的8臺儀器設備中技術成熟、具有市場潛力的發展為商品化儀器設備，推動中國科學儀器產業化;另一方面，進一步整合人才、技術力量，繼續研發新型深紫外科學儀器和設備。