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探針臺(tái)(Analytical Probe Station)
  • 探針臺(tái)(Analytical Probe Station)
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更新時(shí)間:2025-03-27 21:00:08

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儀器特點(diǎn)
1、同軸驅(qū)動(dòng)臺(tái)面
2、RF射頻探針升級(jí)
3、20 – 4000倍的放大
4、后座自由的運(yùn)動(dòng)
5、載物臺(tái)快速升降
6、晶圓取放簡(jiǎn)單
7、壓盤(pán)上下精細(xì)調(diào)節(jié)
8、探針卡尖超速傳動(dòng)調(diào)節(jié)
 
儀器規(guī)格
真空載物臺(tái):  4/6/8/12英寸不銹鋼
載物臺(tái)Theta:  0 – 30度轉(zhuǎn)動(dòng)
壓盤(pán)上下粗調(diào):6毫米范圍內(nèi)控制桿調(diào)整
壓盤(pán)上下微調(diào):25毫米手動(dòng)輪子調(diào)整
壓盤(pán):12微控定位器
顯微鏡臺(tái):1英寸x1英寸移動(dòng)
真空泵:7升/分鐘,-250mmHg
尺寸:780毫米長(zhǎng)x660毫米寬x700毫米高
重量:80Kg

附件
低電流、低電容探針
RF探針、電纜
主動(dòng)探針
超聲切割
PCB夾具、鍍金載物臺(tái)
熱臺(tái)、冷卻系統(tǒng)
防震臺(tái)、屏蔽罩、黑箱

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