一、概述
氣體質量流量計是我廠研制開發的用于對氣體質量微小流量計進行精密測量的新型儀表。該儀表具有測量、顯示的功能，且能輸出4-20mA標準電流信號，實現遠傳控制和報警，解決的氣體微小流量不能遠傳控制的問題。該儀表是在半導體、集成電路工業、特種材料、化學工業、石油工業、醫療和環保許多科研領域和生產中有著重要作用的應用。它廣泛用于氣體分析儀器、微反映裝置、毛細管測量及醫用呼吸儀器等，是多種工業部門和科研單位對氣體質量流量測量、控制的理想儀表。
二、主要技術指標與參數
1.量程如下表
| 測量范圍 | |||||
| 0-30ml/min | 1-100 ml/min | 0-200 ml/min | 0-1 L/min | 0-5 L/min | 0-6 L/min |
| 0-10 L/min | 0-15 L/min | 0-20 L/min | 0-100 L/min | 0-200 L/min | —— |
2.精度：±2%
3.響應時間：0.5sec
4.耐壓：0.1MPa
5.線性：2%
6.環境溫度：0-50℃
7.輸入信號：1-5V
8.輸出信號：4-20mA DC
9.電源：100-240VAC/50-60HZ
10.功耗：≦5W
11.面板尺寸：96×48；96×96；160×80
12.開口尺寸：92×45；92×92；152×76
三、原理與結構
氣體質量流量計是采用熱式原理，傳感器輸出電壓正比于流過內部傳感元件的進出口的空氣或其他氣體質量。傳感器輸出的標準電壓信號傳輸給二次儀表，從而達到儀表各種功能遠傳的目的。該由傳感器和二次儀表兩部分組成。
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