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北京錦正茂科技有限公司

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技術(shù)文章

三維磁場探針臺T8-500-3的技術(shù)指標(biāo)

點(diǎn)擊次數(shù):690 發(fā)布時間:2023-7-14


北京錦正茂科技有限公司提供的多維磁場探針臺,采用無磁材料制成,采用亥姆霍茲線圈正交放置,產(chǎn)生空間維磁場。線圈可采用自然冷卻(磁場較?。?/span>水冷結(jié)構(gòu)(磁場較大),標(biāo)配線圈過熱保護(hù)裝置。配合高精度雙極性直流電源可長時間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源控制面板控制每一維輸出電流,可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺,可以實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動和360度轉(zhuǎn)動,便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂,同時配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號,用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。

技術(shù)指標(biāo):

型號:T8-500-3

材質(zhì):所選材料均為無磁材質(zhì)

磁場范圍:500Gs

線圈材質(zhì):耐高溫漆包線

磁場均勻性:中心區(qū)50毫米球體內(nèi)1%

電源穩(wěn)定性:三臺高精度直流電源 50ppm可選10ppm

磁場分辨率:0.05 mT

角度分辨率:0.02°

樣品固定方式:吸盤或者壓片

樣品臺直徑:50mm可定制

顯微鏡:X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z軸行程≥50.8mm,可選加載激光

放大倍數(shù):16~100X/20~4000X

探針臂數(shù)量:2、4可選

探針臂行程:25mm-25mm-12mm可更換

探針臂移動精度:10μm /2μm/1μm/0.7μm可選

探針長度:38mm

探針直徑:0.51mm

針尖直徑:10μm/5μm/1μm

探針材料:鎢/鈹銅/GGB

漏電精度:100fA

 

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