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探針臺(tái)選型應(yīng)該注意哪些事項(xiàng)
點(diǎn)擊次數(shù)：755 發(fā)布時(shí)間：2023-10-18
探針臺(tái)是一種很專業(yè)的儀器，它主要的功能就是針對(duì)半導(dǎo)體元件進(jìn)行檢測，這里面說的半導(dǎo)體元件指的是集成電路，分立器件，光電器件，傳感器等元件以及封裝的測試。通過探針臺(tái)配合測量儀器可完成集成電路的電壓，電流，電阻和電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。可以適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析，抽查檢測等；可以保證這些半導(dǎo)體元件的質(zhì)量，縮短研發(fā)時(shí)間和器件制作工藝的成本，所以，它的存在對(duì)于制造半導(dǎo)體的企業(yè)來說是非常重要的。
以下是探針臺(tái)選型注意事項(xiàng)
※zui大需要測幾inch的晶圓或者器件？是否需要測試破片或者單顆芯片，最小的單顆芯片尺寸？
※探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高？
※點(diǎn)測樣品的電極尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線路？
※最多需要幾個(gè)探針同時(shí)去點(diǎn)測？
※是否會(huì)用到探針卡測試？
※光學(xué)顯微鏡的最小分辨率需要用到多少？
※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測？
※探針點(diǎn)測時(shí)，對(duì)電流的要求能否達(dá)到100fa或者以下？低電容要求能否要做到0.1pf？是否有射頻需求？
※接駁的測試儀器接口有哪些？
※測試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫？ 是否需要密閉腔體？
※對(duì)chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？
※是否需要防震桌？
※若添置防震桌，是否有壓縮空氣？