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技術文章
真空環境的獲得方式
點擊次數：563 發布時間：2023-11-20
真空環境是很多精密設備運轉的前提條件，由于目前自然真空的利用十分困難，因此一般通過真空泵獲取真空環境。用來獲得、改善、維持真空的裝置稱為真空泵。一般來說，為了獲得高真空、超高真空及ji高真空，有時還要采用多臺真空泵構成機組來完成抽氣任務。因此，了解各種真空泵的工作原理、主要性能、結構特點等，對于正確選擇經濟適用的真空泵是非常重要的。
zui常用的真空泵就是機械泵，它通過轉子旋轉，將空氣從吸氣口吸入，然后從出氣口排出。機械泵能夠達到的真空度大概為1Pa。但是這樣的真空度還遠遠達不到很多物理實驗的要求，所以更高要求的真空環境就需要用到渦輪分子泵或磁懸浮分子泵來獲得。渦輪分子泵是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。由于渦輪分子泵需要在粗真空下才能正常工作，一般利用機械泵作為其前級泵。分子泵進入正常轉速后利用烘烤的手段可得到1E-8Pa的極限壓力。
分子泵的高轉速也使得其十分“脆弱"，一?；覊m甚至氣體本身都會對運轉中的葉片造成巨大的傷害。并且只要分子泵在啟動狀態，前級機械泵就需要一直維持運轉。啟動和關閉都要嚴格遵循程序，否則就可能造成“機毀泵亡"。