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能對應150 mm晶圓／FPD玻璃基板的手動操作型號（反射透射兼用）
對應從明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。高度的擴展性能可以對應不同的樣品，性價比優異。
產品簡介
詳細介紹
能對應200 mm晶圓和FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用）
能夠應對從明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時亮度光圈連動能進行自動調節。這些功能實現了快速舒適的檢查環境。
半導體/FPD檢查顯微鏡 MX61
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|---|---|
| 晶圓（明視場觀察） | 晶圓（暗視場觀察） |
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| 晶圓（微分干涉觀察） | 彩色濾色片（透射觀察） |
半導體／FPD檢查顯微鏡 MX61 規格 | |||
光學系統 | UIS2光學系統（無限遠校正） | ||
機身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明裝置 | 機身一體型（明視場，暗視場＋1選件） | ||
照明系統 | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
透射照明 | 纖維光導 | ||
對焦單元 | 電動/手動 | 手動 | |
行程 | 32 mm | ||
分辨率/微調靈敏度 | 微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm | ||
zui大樣本高度 | 30 mm | ||
物鏡轉換器 | 電動型 | 明視場微分干涉6孔 | |
手動式 | - | ||
載物臺 | 行程 | 8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范圍189×189 mm） | |
觀察筒 | 廣角視場（視場數22） | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 |
正像 | 三目觀察筒 | ||
超寬視場（視場數26.5） | 倒置 | 三目觀察筒 | |
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
附件單元 | DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載 | ||
外形尺寸 | 509（W）×843（D）×507（H）mm（標準組合） | ||
重量 | 40 kg（標準組合） | ||