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 尼康金相顯微鏡采用尼康專有的CFI60光學系統，提供高清晰度，對比度和透射率。增強EPI-365nm紫外線激發熒光功能，使出色適合半導體殘留在300mm晶圓上和有機電致發光顯示器的檢查。圖像亮度已顯著提高，傳統的顯微鏡相比，這些顯微鏡系列適合各種檢查。

　　尼康金相顯微鏡主要特點

　　•專為300mm晶圓和光罩檢測

　　•利用更高的分辨率，對比度和透射CFI60光學系統

　　•更高的亮度比傳統的顯微鏡

　　•新光源和四次美好的透射照明，*的光學設計結果

　　•預中心的燈箱提供更高的亮度，同時僅消耗一半的電力，并減少熱致離焦

　　•電動物鏡轉換器比傳統模式更耐用三倍

　　應用

　　•晶圓

　　•液晶顯示器

　　•其他各種檢查

　　兩種機型可供選擇

　　•L300N：Episcopic照明類型

　　zui大樣品尺寸：300mm晶圓

　　*階段行程：354x302毫米

　　放大倍率范圍：15X-2000X（目鏡和目標而定）

　　•L300ND：透射/Episcopic照明類型

　　zui大樣品尺寸：17英寸平板顯示器（FPD）

　　*階段行程：354x302毫米（透射照明范圍：354x268毫米）

　　放大倍率范圍：15X-2000X（目鏡和目標而定）

　　各種各樣的觀測技術

　　各種各樣的觀測技術，如明場，暗場，簡單的偏光，DIC和外延flourescence觀察，是可能的。采用Epi-flourescence觀察，紫外激發可應用于包括300mm晶圓和OLED檢查應用。

　　暗場觀察

　　新開發的暗場照明光學顯著提高圖像的亮度和提高分鐘內樣品的劃痕和拓樸的檢測能力。

　　明場觀察

　　尼康CFI60系統-一個成功合并的CF光學系統無限遠光學-高亮度，高對比度的圖像。

　　NomarskiDIC的觀測

　　尼康L300N/L300ND金相顯微鏡采用單棱鏡（Senarmont）系統，使所有的放大倍率DIC的觀察，通過簡單地插入物鏡轉換器單Nomarski棱鏡。DIC的圖像清晰和與zui小的色調明快，即使在低放大倍率。高對比度型DIC的滑塊允許更大的敏感性形成的DIC圖像。

　　半兼容設計

　　尼康L300N/L300ND金相顯微鏡符合半導體設備和材料協會（SEMI）為安全準則（S7-0703）和人體工程學（S8-1103）。由于目鏡的位置更貼近運營商，不觸摸階段的運營商，即使是他或她的走向，確保安全，舒適地觀看。

　　防靜電更強有力的保障

　　靜電放電涂料已應用于身體的階段，鏡筒（L2-TT2型），及各種控制。這加強了防止污染的保障，并避免損壞由靜電引起的樣品，從而有利于單產提高。