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產品簡介
詳細介紹
奧林巴斯半導體顯微鏡
能對應200mm晶圓和FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用），能夠應對從明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時亮度光圈連動能進行自動調節。這些功能實現了快速舒適的檢查環境。
半導體/FPD檢查顯微鏡 MX61
奧林巴斯半導體顯微鏡
OLYMPUS 奧林巴斯半導體顯微鏡MX51是一款高性價比的顯微鏡，適用于各種電子元件、晶圓和大型樣本的觀察需求。
高靈敏度載物臺可以迅速決定位置
內置離合器的載物臺手柄
MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長時間操作也不會感到疲勞。150mm載物臺內置離合器，可實現輕松移動。
快速切換物鏡，提高檢查速度
OLYMPUS 奧林巴斯半導體顯微鏡MX51
OLYMPUS 奧林巴斯半導體顯微鏡MX51是一款高性價比的顯微鏡，適用于各種電子元件、晶圓和大型樣本的觀察需求。
奧林巴斯半導體顯微鏡
高靈敏度載物臺可以迅速決定位置
內置離合器的載物臺手柄
MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長時間操作也不會感到疲勞。150mm載物臺內置離合器，可實現輕松移動。
快速切換物鏡，提高檢查速度
電動物鏡轉換器示意圖
電動物鏡轉換器示意圖 電動物鏡轉換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。
鮮明圖像和不錯的分辨率為特點的光學系
多種選擇可實現的成像性能
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來的高品質，忠實于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數碼影像觀察中都能發揮它的性能。
奧林巴斯半導體顯微鏡規格
光學系統
UIS2光學系統（無限遠校正）
機身
觀察方法
明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
反射/透射
反射/透射
照明裝置
機身一體型（明視場，暗視場＋1選件）
照明系統
反射照明
100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明
纖維光導
對焦單元
電動/手動
手動
行程
32 mm
分辨率/微調靈敏度
微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm
大樣本高度
30 mm
物鏡轉換器
電動型
明視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉5孔
明暗視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉中心輸出5孔
手動式
-
載物臺
行程
8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范圍189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm
觀察筒
廣角視場（視場數22）
倒置
雙目/三目觀察筒
正像
三目觀察筒
超寬視場（視場數26.5）
倒置
三目觀察筒
正像
傾斜三目觀察筒
附件單元
DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載
外形尺寸
509（W）×843（D）×507（H）mm（標準組合）
重量
40 kg（標準組合）