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目錄:北京慧龍環科環境儀器有限公司>>材料科學檢測設備>>沈陽科學儀器>> PVD500沈陽科儀高真空磁控濺射薄膜沉積系統

沈陽科儀高真空磁控濺射薄膜沉積系統
  • 沈陽科儀高真空磁控濺射薄膜沉積系統
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 品牌 沈陽科儀
  • 型號 PVD500
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時間:2025-06-26 09:16:02瀏覽次數:255評價

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沈陽科儀高真空磁控濺射薄膜沉積系統--PVD500

真空室結構:方形前開門

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沉積源:永磁靶4套,2英寸

樣品尺寸,溫度:p4英寸,1片,最高800°C

占地面積(長x寬x高):約2米x1.7米x2米

電控描述:全自動

工藝:片內膜厚均勻性:≤3%

高真空磁控濺射薄膜沉積系統--PVD500

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沉積源:永磁靶4套,2英寸

樣品尺寸,溫度:p4英寸,1片,最高800°C

占地面積(長x寬x高):約2米x1.7米x2米

電控描述:全自動

工藝:片內膜厚均勻性:≤3%

特色參數:

產品概述:
本沉積系統可用于制備光學薄膜、電學薄膜、磁性薄膜、硬質保護薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩定、模塊化結構,采用行業的軟件控制系統。

設備特點:

本設備是一個鍍膜平臺,可把磁控靶拆下換電子槍成為電子束鍍膜系統、或換蒸發源作為熱蒸發系統、或換上離子槍作為離子束鍍膜系統等。
設備用途:
用于納米級單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的制備。可廣泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研項目



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