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當前位置：> 供求商機> UVISEL 2 VUV 真空紫外橢偏儀
專為VUV 測量設計，整個系統處于真空狀態，無氧氣吸收。具備高度準確性；*的超快測量速度；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品；氮氣消耗量少。
產品特點
50KHz 高頻PEM 相位調制技術
45 秒內完成充氮氣
2 分鐘內完成樣品室抽真空
8 分鐘內完成光譜全譜范圍內測量
兩種工作模式：氮氣清洗結合抽
真空、連續氮氣清洗
光譜范圍：147nm~850nm；147nm~2100nm
重點應用領域
超薄膜
157nm 光刻新材料
有機材料、高分子材料
高k 材料：HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
抗反射涂層
半導體和介電材料電子躍遷
MgF2、CaF2、LaF3
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