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目錄:北京瑞科中儀科技有限公司>>電子束>> 剝離成形電子束設備

剝離成形電子束設備
  • 剝離成形電子束設備
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 北京市
屬性

應用領域:環保,化工,電子/電池

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更新時間:2024-07-10 13:31:53瀏覽次數:808評價

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應用領域 環保,化工,電子/電池
剝離成形電子束設備:對于有些金屬,我們很難使用蝕刻(Etching)方式來完成想要的電路圖案(Circuit Pattern)時,就可以采用 Lift-Off制程來做出想要的金屬圖案。在此過程中,電子束蒸發于在基板表面上沉積所需的薄膜層于犧牲層于基材上,最終在洗去其犧牲層,以得到其電路圖案。

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剝離成形電子束設備介紹:

對於有些金屬,我們很難使用蝕刻(Etching)方式來完成想要的電路圖案(Circuit Pattern)時,就可以採用 Lift-Off製程來做出想要的金屬圖案。在此過程中,電子束蒸發於在基板表面上沉積所需的薄膜層於犧牲層與基材上,最終在洗去其犧牲層,以得到其電路圖案。由於SYSKEY的系統可以精準的控制蒸發速度,因此薄膜厚度和均勻度皆小於+/- 3%。

? 針對Lift-Off製程設計載臺水冷或液態氮冷卻。

image.png

1.準備基板。
2.犧牲薄膜層的沉積。
3.對犧牲層進行圖案化(例如蝕刻),以形成反向圖案。
4.沉積目標材料。
5.洗去犧牲層以及目標材料的表面。
6.最終圖案層:
①基材
②犧牲層
③目標材料

image.png

剝離成形電子束設備參數:

應用領域腔體
  • Lift-Off製程。


  • 客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸

    和其應用。

  • 腔體最高可至650 mm。

  • 腔體的極限真空度約為10-8 Torr。

配置和優點選件
  • 客製化的基板尺寸,最大直徑可達

    12寸晶圓。

  • 優異的薄膜均勻度小於±3%。

  • 水冷坩堝的多組坩鍋旋轉電子束源(1/2/4/6坩堝)。

  • 自動鍍膜系統。

  • 具有順序操作或共沉積的多個電子束源。

  • 基板具有冷卻(液態氮溫度低至-70°C)功能。

  • 可以與傳送腔、機械手臂和手套

    箱整合在一起。




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