亚州一区二区三区中文字幕国产精品-日韩人妻一区二区三区蜜桃视频-亚洲中文字幕久久无码精品-午夜精品亚洲一区二区三区嫩草-日韩人妻一区二区三区蜜桃视频-国产一区二区精品高清在线观看-国产欧美日韩综合精品一区二区

您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)

| 注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏該商鋪

13810961731

products

目錄:北京瑞科中儀科技有限公司>>刻蝕機(jī)>> 原子層蝕刻設(shè)備

原子層蝕刻設(shè)備
  • 原子層蝕刻設(shè)備
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 北京市
屬性

應(yīng)用領(lǐng)域:環(huán)保,化工,電子/電池

>

更新時(shí)間:2024-07-10 13:59:07瀏覽次數(shù):1114評(píng)價(jià)

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品

更多產(chǎn)品
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池
原子層蝕刻設(shè)備是一種先進(jìn)的蝕刻技術(shù),可精準(zhǔn)的控制其蝕刻深度。隨著元件尺寸的進(jìn)一步減小,需要進(jìn)一步的使用ALE才能達(dá)到其所需的精度。

原子層蝕刻設(shè)備介紹:

原子層蝕刻設(shè)備ALE)是一種先進(jìn)的蝕刻技術(shù),可精準(zhǔn)的控制其蝕刻深度。隨著元件尺寸的進(jìn)一步減小,需要進(jìn)一步的使用ALE才能達(dá)到其所需的精度。

這就引起了人們對(duì)被稱為原子級(jí)蝕刻(ALE)的技術(shù)的關(guān)注,該技術(shù)克服了原子級(jí)常規(guī)蝕刻的局限性。基於電漿的原子層蝕刻是氣體以定量注入和離子轟擊的周期性蝕刻過程,並具有去除單個(gè)薄膜層、極低的損壞率等優(yōu)點(diǎn)。

SYSKEY的系統(tǒng)可以精準(zhǔn)的控制製程氣體與電漿製程,並提供高精準(zhǔn)度的薄膜蝕刻。

image.pngimage.png

原子層蝕刻設(shè)備參數(shù):

應(yīng)用領(lǐng)域腔體
  • 矽化合物蝕刻SiO2、SiN4)。

  • 微機(jī)電系統(tǒng)。

  • 金屬、矽與光阻蝕刻。

  • 陽(yáng)極電鍍處理鋁腔。

  • 通過使用水冷系統(tǒng)、加熱器或加熱包來控制腔體溫度。

配置和優(yōu)點(diǎn)選件
  • 客製化的基板尺寸,最大直徑可達(dá)12吋。

  • 蝕刻系統(tǒng)中,ICP、RIE、ALE與DRIE可在同一腔內(nèi)。

  • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3%。

  • 具有高均勻氣體分佈的質(zhì)量流量控制器。

  • 穩(wěn)定的溫度控制,將載臺(tái)加熱至200°C或冷卻至-20°C。

  • 使用Tornado ICP線圈,ICP電漿高達(dá)2000W,可增強(qiáng)低溫下的沉積。

  • 由於使用低能量進(jìn)行蝕刻,其損傷率也是較低的。

  • 基板具有氦氣冷卻之功能,均勻的控制溫度。

  • 均勻的氣體擴(kuò)散,具有優(yōu)化的氣體分佈。

  • 靜電吸盤。

  • 蝕刻終點(diǎn)偵測(cè)(OES,激光)相容性。

  • 可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱整合在一起。






會(huì)員登錄

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
在線留言

會(huì)員登錄

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:
熱線電話 在線詢價(jià)
主站蜘蛛池模板: 曲沃县| 大新县| 凤庆县| 密山市| 苏尼特右旗| 西乡县| 双柏县| 江门市| 黑山县| 馆陶县| 蕉岭县| 鄂托克旗| 遂平县| 塔城市| 安多县| 海原县| 桐城市| 长兴县| 莱阳市| 焉耆| 漯河市| 海南省| 石泉县| 九龙县| 长春市| 新竹县| 黄骅市| 古浪县| 谢通门县| 枞阳县| 常熟市| 婺源县| 南宫市| 宁波市| 满城县| 留坝县| 玛纳斯县| 民和| 商都县| 清丰县| 南靖县|