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半導(dǎo)體。

MEMs。

納米技術(shù)。

LED。

太陽能電池產(chǎn)業(yè)。

平板顯示器。

通過使用加圈和水冷不銹鋼法蘭來控製石英管的溫度。

爐管配置：水平，結(jié)合傳送機構(gòu)。

帶有視窗的手動爐門。

石英管尺寸：最大12英寸。

單載片或多載片（最多50個晶圓）。

控制精度：<±1°C。

製程氣體：N2、Ar、H2。

最高溫度：最高1700°C。

抽氣閥件前端會有冷凍捕捉器。

易於清潔和維護。

和自動傳送組成在一起。