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濟南三泉中石實驗儀器有限...

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太陽能硅片厚度儀--濟南三泉中石又一力作

閱讀:1133      發布時間:2016-10-8
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太陽能硅片厚度儀

  太陽能硅片厚度儀CHY-U是制備太陽能硅片過程中*的檢測設備,硅片厚度有一定的偏差范圍,對于180μm厚度的硅片,其偏差范圍為±20μm,超過此范圍則成為不良品--薄厚片。薄厚片是衡量硅片品質的一個很重要的指標。薄厚片的存在會影響硅片合格率及電池片的生產工藝,因此硅片厚度成為一項重要檢測指標。

  標準 GB/T 6618-2009《硅片厚度和總厚度變化測試方法》中給出了硅片厚度的測量方法,并對檢測儀器的相關參數做出了規定:

  1.測厚儀由帶指示儀表的探頭及支持硅片的夾具或平臺組成。

  2.測厚儀應能使硅片繞平臺中心旋轉,并使每次測量定位在規定位置的2mm范圍內。

  3.儀表zui小指示量值不大于1μm

  4.測量時探頭與硅片接觸面積不應超過2mm²。

太陽能硅片厚度儀

太陽能硅片厚度儀

  CHY-U型太陽能硅片厚度儀*上述要求,還配有自動進樣器,可完成2mm范圍內各種薄膜、復合膜、紙張、金屬箔片等硬質和軟質材料厚度測量。在太陽能硅片的生產過程中能夠起到重要作用。

  從根本上講,薄厚片的產生都是由于各種問題導致線網抖動而造成的。薄厚片可分為兩大類:TV(ThicknessVariation厚度偏差),主要指硅片與硅片之間相同位置之間的厚度偏差,通常存在于同一鋸硅片中。TTV(TotalThicknessVariation整體厚度偏差),指同一片硅片上zui厚位置與zui薄位置之間的偏差。薄厚片根據其在硅片內的分布位置可以分為四類:整片薄厚(TV);入刀點薄厚(TTV);硅片中部至出刀點薄厚(TTV);單片薄厚不均(TTV)。其產生原因分析如下:

  (1)整片薄厚:

  a.導輪槽距不均勻。

  b.切割前未設好零點。

  c.導向條與硅塊之間留有縫隙,切割開始后,隨著鋼線的運行,部分碎導向條被帶入線網,鋼線錯位,由于鋼線在切割過程中會瞬間定位,這樣就造成硅片整片薄厚的現象。

  d.導輪槽磨損嚴重。

  (2)入刀點薄厚(在硅片上出現薄厚的位置通常為入刀點至向上延伸6mm的區域):

  a.工作臺墊板更換錯誤。

  b.入刀階段砂漿流量大。

  (3)硅片中部至出刀點薄厚:

  a.切割過程中,有碎片、碎導向條等雜質混入砂漿中,隨著砂漿的流動和鋼線的轉動卷入導輪上的線網中,引起跳線和切斜,造成該區域的硅片中部至出刀點薄厚。

  b.砂漿流量不合適。

  (4)單片薄厚不均:

  a.鋼線張力異常,波動較大。

  b.導輪跳動較大。

  c.機床水平問題。

  d.導輪問題。

  通過對薄厚片的類型及產生原因進行分析,可以更好地減少薄厚片的產生,搭配CHY-U型太陽能硅片厚度儀對硅片厚度進行測量,可提高產品的成品合格率。

太陽能硅片厚度儀 生產車間

 

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