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SMC推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產(chǎn)品采用平行密封結(jié)構(gòu)，可對應(yīng)300mm晶圓。適用于半導(dǎo)體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。

◇ 長壽命：300萬次（常溫時）

???◇ 低發(fā)塵：發(fā)塵量減少到1/5以下（與舊型號相比）

???◇ 省氣：耗氣量減少22%

???◇ 輕量：14kg（盒式）

???◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm

 

平行密封構(gòu)造

▼門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封（L motion）構(gòu)造，降低了摩擦系數(shù)，可大幅減少發(fā)塵量并延長使用壽命。

 

應(yīng)用場合

▼半導(dǎo)體加工過程中，針對各工藝腔室之間的隔離。

 

 

 

▼您也可以通過以下視頻了解到更詳細(xì)的產(chǎn)品規(guī)格及特性。

 

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