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| 型號 | VMC222 | VMC322 | VMC432 | VMC542 | |
| 行程（mm） | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | |
| 外部尺寸（mm） | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | 1440×1000×1620 | |
| 重量（kg） | 240 | 250 | 310 | 400 | |
| 承重（kg） | 25 | 25 | 25 | 25 | |
| 測量精度 | XY軸* | E2=（3.0+L/200）µm | E2=（3.5+L/200）µm | ||
| Z軸** | E1=（5.0+L/200）µm | ||||
| 速度 | XY軸 | 200mm/S | |||
| Z軸 | 100mm/S | ||||
| 光柵尺 | 1.0µm分辨率 | ||||
| CCD | 1/2"CCD 黑白/彩色 | ||||
| 光源 | 輪廓光 | LED冷光源，256級亮度可調 | |||
| 表面光 | 6環8區LED冷光源，各段操控，256級亮度可調 | ||||
| 光學系統*** | 6.5:1可變倍，放大倍率29～163或58～326 | ||||
| 軟件 | Vispec測量軟件 | ||||
| 運動控制 | 自主的CNC直流伺服系統 | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作環境 | 溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80% | ||||
| 振動<0.002g，低于15Hz | |||||
| 電源 | /50Hz/10A | ||||
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