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| 型號 | VMA2515 | VMA3020 | VMA4030 | |
| 行程（mm） | 250×150×150 | 300×200×200 | 400×300×200 | |
| 外部尺寸（mm） | 600×650×800 | 700×850×950 | 800×700×950 | |
| 重量（kg） | 170 | 270 | 300 | |
| 承重（kg） | 25 | 25 | 25 | |
| 測量精度* | E2（X/Y）=（3.0+L/200）μm | E2（X/Y）=（3.0+L/200）μm | E2（X/Y）=（3.5+L/200）μm | |
| 光柵尺 | 1.0µm分辨率 | |||
| CCD | 1/2"CCD 黑白/彩色 | |||
| 光源 | 輪廓光 | LED冷光源，256級亮度可調 | ||
| 表面光 | LED冷光源，256級亮度可調 | |||
| 同軸光 | 可選配，參數同輪廓光 | |||
| 放大倍率** | 29～163或58～326 | |||
| 軟件 | Vispec測量軟件（VMA版） | |||
| 保修期 | 1年 | |||
| 工作環境 | 溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80% | |||
| 振動<0.002g，低于15Hz | ||||
| 電源 | /50Hz/10A | |||
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