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等離子清洗機(jī)芯片粘結(jié)的清洗

時間:2021/5/27閱讀:391
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等離子清洗機(jī)能對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和表面改性。

等離子清洗的功能:
附著力:提高表面的附著力,提高表面粘接的可靠性和持久性。
活化:大幅提高表面的浸潤性能,形成活性的表面。
清潔:去除微小塵埃,激活鍵能,精細(xì)清洗。
增強(qiáng)后面點膠、粘接、貼合、焊接、涂覆、邦定效果。

等離子體表面清洗機(jī)可用于芯片粘結(jié)之前的處理,由于未處理材料表明普遍的疏水性和惰性,其表面粘結(jié)性能通常很差,粘結(jié)過程中很容易在界面產(chǎn)生空洞。活化后的表面能改善環(huán)氧樹脂等高分子材料在表面的流動性能,提供良好的接觸表面和芯片粘結(jié)浸潤性,可有效防止或減少空洞形成,改善熱傳導(dǎo)能力。清洗常用的表面活化工藝是通過氧氣、氮氣或它們的混合氣等離子體來完成的。微波半導(dǎo)體器件在燒結(jié)前采用等離子體清洗管座,對保證燒結(jié)質(zhì)量十分有效。

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