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電子薄膜應力分布測試儀
  • 電子薄膜應力分布測試儀
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貨物所在地:山西長治市

地: 國產

更新時間:2024-05-04 08:14:14

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該產品主要應用在微電子、光電子生產線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、 基片曲率半徑測量測試。該儀器總測量點數多,能給出場面型分布結果,適合于微電子生產線上產量的快速檢驗和微電子生產研究。

 貨號:ZH9912 
產品簡介
該產品主要應用在微電子、光電子生產線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、 基片曲率半徑測量測試。該儀器總測量點數多,能給出場面型分布結果,適合于微電子生產線上產量的快速檢驗和微電子生產研究。
儀器基于干涉計量的場測試原理,可實時觀測面型的分布,迅速了解被測樣品的形貌及應力集中位置,及時淘汰早期失效產品。
產品特點
計算機自動條紋處理
測試過程自動
曲面補償測試原理
指標
樣品尺寸:≤100mm (4英寸)
曲率范圍:|R|≥5米
測試精度:5%
單片測量時間:3分鐘/片
結果類型:面形、曲率半徑、應力分布、公式表示、數據表格
圖形顯示功能:三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電    源:AC 220V±10%, 50Hz±5%
大功耗:100W
外型尺寸:(L×W×H) 285mm×680mm×450mm
重    量:36kg
 


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