| 多功能微波等離子體實驗裝置 型號：YQDH2004 | 貨號：ZH5501 |
| 產品簡介 自然界中物質的形態除了固、液、氣三種形態之外，還存在第四態，即等離子體狀態。等離子體的產生過程為：固體物質在受熱的情況下熔化成液體，液體進一步受熱后變成氣體，氣體進一步受熱后，中性的原子和分子電離成離子和電子，形成等離子體。由于等離子體中含有大量具有高能量的活性基團，這使得等離子體能夠參與或發生許多不同的化學或物理反應。 本裝置是我公司和武漢工程大學等離子體化學與新材料重點實驗室聯合研制。由微波源、真空系統、供氣系統、冷卻水系統、微波傳輸及微波諧振腔組成；由微波源產生的頻率為2.45GHz的微波，沿矩形波導管傳輸，經過調整短路活塞，zui后在水冷諧振腔反應室內激勵氣體形成軸對稱的等離子體球。 可開設的實驗： 在基材（如硅片）上完成微波等離子體化學氣相沉積法制備種功能薄膜材料（如BN薄膜、金剛石薄膜、氮化碳薄膜等）、微波等離子體刻蝕加工實驗、材料表面改性、微波等離子體清洗材料表面、微波等離子體化學合成等實驗；適合大學物理、材料、化學等領域的學生實驗及教師。培養學生掌握等離子體的應用。 本裝置需另配光學顯微鏡、超聲波清洗機、氣源。隨機配備基材、金剛石微粉。 主要特點： 1 內部電，可避免放電污染，運行氣壓范圍寬，能量轉換效率高，可產生大范圍的高密度等離子體。 2 設有垂直交叉的兩個方向的透明觀察窗，可直觀觀察等離子體的放電特性。 3 微波等離子體刻蝕精度達到亞微米。制備種功能薄膜材料的速率較快。 主要參數及性能： 1、微波源：功率0~800W連續可調輸出； 2、真空系統：采用旋片真空泵，單相220V交流電源，限真空6×10-1帕，抽速2升/秒；真空計采用數顯壓阻式真空計和熱偶真空計聯合作用，用于測量本底真空和工作時的工作氣壓。真空密封采用金屬和橡膠密封；真空調節采用隔膜閥粗調和微調閥精細調節，調節快速方便、穩定性好。 3、供氣系統：有兩路立供氣氣路，通過轉子流量計控制流量。 4、自帶冷卻水循環系統形成冷卻水。制冷系統可冷卻水溫度在30度以下，水源要求。 5、微波傳輸及微波諧振腔：配有環行器、水負載和三螺釘阻抗調配器，可微波源的工作；配有微波反射測量系統，等離子體zui大限度地吸收微波能。反應室工作壓強：幾帕～十千帕；反應室限壓強：6×10-1帕；真空反應室石英管腔體尺寸：Φ50mm；基片溫度范圍：200～1000℃；電磁波功率：0～800W；接地線＜3Ω。 |  |
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