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真空氣氛爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體(如氬)等各種氣氛。

真空氣氛爐中真空系統的氣密性表征了防止氣體滲漏的性能，包括漏孔(或間隙)的漏氣和材料的滲氣，其優劣通常用漏率表示。漏率是單位時間內流過漏孔(包括間隙)的氣體量。在標準中，漏率定義為：漏孔入口壓力為1*0.1*105Pa，出口壓力低于1.33*103Pa，溫度為23℃±7℃的標準條件下，露點溫度低于﹣25℃的空氣，單位時間內流過漏孔的氣體量。

真空檢漏的目的，不僅是判斷系統是否漏氣，定量地檢測出漏率的大小，更重要的是找出漏孔的位置或漏氣原因，以便采取措施進行修補。真空檢漏的基本原理是利用真空系統內外的壓差使氣體流動并運用一定的技術手段檢測出漏孔的位置。

真空系統內部充有高于大氣壓力的氣體，使氣體由內向外流動進行檢漏的方法稱為正壓檢漏法，檢漏儀器探頭從外部探測示漏氣體，從而確定漏孔位置及漏率。把真空系統抽成真空，從外部用噴嘴向系統噴射示漏氣體，使氣體由外向內流動，觀察檢漏儀讀書變化，從而確定漏孔位置及漏率，這種檢漏稱為負壓檢漏法，也可稱為真空檢漏法。

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