ICP–MS屬精密儀器，維修及日常維護時必須嚴格遵照儀器使用規程進行。正確的使用和維護保養儀器不但能夠提高分析結果的準確性，還能夠延長儀器的使用壽命，減少故障率，保障分析檢測工作的順利進行。

1.靈敏度偏低

a、調用的方法文件是否正確；

b、調試溶液是否正確；

c、進樣管、霧化器連接是否正常，有無漏氣、堵塞現象；

d、采樣錐、截取錐、炬管是否出現污漬，需要清洗；

e、依次對以下項目作優化調試：霧化器流量、透鏡電壓或自動離子透鏡、X-Y調節、雙檢測器優化、質量軸校準；

f、完成d項后，需要做儀器性能指標的全套優化項目，以獲得其最佳校準值。

2.標準溶液精密度差

a、蠕動泵管連接是否正常，有無漏氣、堵塞現象；

b、霧化器的霧化效率情況，檢查霧化氣流的暢通性和均勻性；

c、炬管是否較長時間未清洗，存在污漬。

3.氧化物較高

a、清潔霧室和霧化器，確保霧化氣流暢通無阻；

b、清洗采樣錐和截取錐，并觀察其孔徑有無變形，必要時更換。

4.雙電荷離子偏高

a、檢查調試溶液是否被污染；

b、采樣錐和截取錐的O形圈變形，引起漏氣。

5.本底值偏高

a、真空度是否較前期偏差；

b、近期是否拆卸過真空系統，排除安裝時可能存在的泄漏點；

c、考慮調節電子參數。

6.線性不好

a、檢查空白溶液、標準溶液是否正常，排除污染；

b、重新優化雙檢測器。

7.點不著火

a、RF電纜線連接是否正常；

b、氬氣壓力是否達到適用范圍；

c、真空度是否達到點火壓力要求；

d、炬管連接處密閉性能是否正常，檢查O形圈，避免變形和松動；

e、氬氣純度及氣路連接是否達到要求；

f、霧室廢液排出是否正常，避免堵塞；

g、檢查點火線圈的清潔度，清潔污漬。

8.真空系統真空度達不到

a．點火后真空系統真空度達不到，檢查采樣錐和截取錐O形圈是否漏氣；

b．點火前真空系統真空度變差，提示真空泵需要保養。

9.點火后，水溫偏高

a、冷卻循環水設備的電源未開；

b、冷卻水溫度未設置在正常值范圍；

c、冷卻循環水設備制冷效果欠佳(可能漏水)；

d、水路管道堵塞或者漏水；

e、冷卻循環水設備的濾網堵塞；

f、冷卻循環水設備故障。

10.儀器無法聯機

a、連接電纜線是否脫落；

b、關閉等離子體、真空和儀器主機，重啟計算機。

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