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勻膠機、旋涂儀清理

閱讀:3101        發布時間:2016-11-12

勻膠旋涂產品,在長時間使用過程中需要對儀器進行適當清理

勻膠機屬下列狀況之一時,需要對抽氣室進行清潔:

1. 正常使用三個月的; 

2. 膠被吸入抽氣室的; 

3. 電機轉速不穩定或被卡住轉不動的。 

清潔的辦法是順次取下勻膠機片托,松開光電盤上的緊固頂絲,取下光電盤、上密封環、抽氣室、下密封環、彈簧,用脫脂棉蘸酒精或丙酮擦洗潔凈,再順次裝上彈簧、下密封環、抽氣室、上密封環、光電盤。旋緊緊固頂絲。 

 

北京泰諾鑫源科技有限公司專注于為微電子和半導體領域的高等院校、科研院所以及各類生產企業提供*的半導體制造及封裝實驗設備和器材。在勻膠機清洗的問題供大家討論。

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