智能勻膠機 型號：SC-100
SC-100智能勻膠機主要適用于半導體硅片、晶片、ITO導電玻璃、光學玻璃等工藝制版及表面涂覆，各種光刻膠表面膜制備。
系統配置高速變頻馬達，變頻控制涂膠轉速、時間，使整個涂膠過程精確，穩定。
主要技術指標
系統支持10個工藝組存儲，每個工藝組可設置4段運行速度及運行時間
勻膠速度： 0～8000rmp可調
勻膠時間： 1～9999s任意時間可設置
旋轉加速度：0～12000rpm/sec 由低速到高速加速時間0.1s～0.5s
轉速穩定度：±1rmp
涂膠均勻性：±3%
可鍍膜尺寸：Ф5～Ф150mm（6〞）
基片厚度： ≤5mm
SC-100智能勻膠機
其 它 配 置設備配置Ф260mm接膠裝置（不銹鋼材質）
電機額定功率90W，額定轉速8000rmp
真空系統：FY-1C真空泵一臺，抽氣速率60L/min(標配)
AP-500V無油真空泵，抽氣速率100L/min（選配）
樣片托：隨機配1英寸一個，2英寸一個，其它規格尺寸按要求定做。
輸入電源： AC220V/240V 50HZ
機身尺寸： 280×360×240mm
機身重量：10Kg
在線銅離子監控儀 型號：ISE-3000+ 技術規格
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