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數字式四探針測試計/數字式四探針測試儀 型號：TG-SX1934
產品特點
四探針測試儀是根據單晶硅物理測試方法標準并參考美國A.S.T.M 標準設計的半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）測試儀器。
儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件，采用旋扭式開關控制，及各種工作狀態(tài)LED指示。應用微計算機技術，使得測量讀數更加直觀、快速。整套儀器體積小、功耗低、測量精度高、測試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。
測量范圍 電阻率/Range：10-4—105Ω/□(可擴展/extended range) 方塊電阻(薄層電阻) /Sheet resistance：10-3—106Ω/□ 電阻/resistance：10-6—105Ω
可測晶片直徑（zui大） φ100mm(標配)，方形230×220mm(zui大)
zui大電阻測量誤差(按JJG508-87)
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%讀數±2個字
外形尺寸 400mm×440mm×120mm
儀器重量 電氣主機：約4kg 測試臺：約5kg
測試環(huán)境 溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65％； 無高頻干擾 無強光照射
電源 220V±10%(50Hz) 功耗≤35W
備注 具備電腦接口
探頭
TG-Sx系列四探針探頭是采用綜合性能優(yōu)異的高分子材料、耐磨和硬度高的探針研制的測量數據穩(wěn)定、可靠、準確度高、耐用性能好四探針探頭。所有技術指標符合標準，同時符合ASTM標準有關規(guī)定。
間距：1±0.01mm； 針間緣電阻≥1000MΩ； 機械游移率:≤1.0%；
探針壓力：TZT-9A/9B: 12-16牛頓（總力） TZT-9C/9D 5-8 牛頓（總力）
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