A. 測量范圍：zui大工件直徑：Φ450mm zui大測量高度：400mm B. 主軸精度：高精度空氣軸承 圓度誤差:±(0.025μm＋0.0003μm/mm×測量高度) 軸向誤差：±(0.05μm＋0.0003μm/mm×半徑) C. 傳感器：電感傳感器 測量范圍：±1mm，±0.4mm，±0.03mm 分辨率/測量范圍：0.03μm/±1mm, 0.012μm/±0.4mm, 0.001μm/±0.03mm D. 立柱 行程：400mm 全程直線度誤差：1μm/500mm 任意100mm直線度誤差：0.25μm/100mm 立柱對主軸的平行度：1μm/300mm F .軟件：基于WindowsXP界面的測量軟件; 主要功能包括：圓度、圓柱度、內(nèi)外徑、同心度、平面度、垂直度、偏心、共軸度、跳動、直線度、 全跳動 等基本元素測量；諧波分析；2-1500upr區(qū)間內(nèi)各濾波波段選擇；文件和數(shù)據(jù)管理；幫助文件等。
