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半導體冷水機的作用

2017-7-21　閱讀(4247)

半導體冷水機的作用

半導體冷水機是指應用在半導體領域，如掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器的高精度冷水機組。

半導體冷水機的出現以及廣泛應用，是隨著科技的不斷發展，現代超精密制造、加工、測量儀器對工作環境提出了苛刻要求，尤其是以光刻機為代表的超大規模集成電路制造設備，其高集成度導致常規散熱方法遠遠不能滿足要求，同時投影物鏡的光刻質量、運動部件的定位精度以及測量裝置的測量精度等都對環境參數的變化特別是溫度的變化尤為敏感。因此，環境參數尤其是溫度的控制成為一項關鍵問題，而半導體冷水機的出現正好解決了這一難題。

　半導體冷水機溫度控制系統是保證步進掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器設備良好工作狀態的重要組成單元。

半導體冷水機參數：

產品名稱	型號	制冷量		出水壓力 Kgf/cm	水流量 l/min	功率 W	水箱容積 L	外形尺寸長寬高
半導體冷水機	型號	Kw/h	Kca/h	出水壓力 Kgf/cm	水流量 l/min	功率 W	水箱容積 L	外形尺寸長寬高
	TF-LS-300W	0.3	258	0.1-0.6	9-20	280	5.5	505230500
	TF-LS-600W	0.6	516	0-2	0-60	900	16	650550750
	TF-LS-1KW	1	860	0-2	0-60	900	16	650550750
	TF-LS-1.5KW	1.5	1290	0-2	0-60	900	16	650550750
	TF-LS-2KW	2	1720	0-2	0-60	1200	27	650550900
	TF-LS-2.5KW	2.5	2150	0-2	0-60	1200	27	650550900
	TF-LS-3KW	3	2580	0-2	0-60	1500	37	6506501050
	TF-LS-3.5KW	3.5	3010	0-2	0-60	1500	37	6506501050
	TF-LS-4KW	4	3440	0-2	0-60	2000	43	7006501050
	TF-LS-4.5KW	4.5	3870	0-2	0-60	2000	43	7006501050
	TF-LS-6KW	6	5160	0-2	0-60	2300	45	7506501050
	TF-LS-6.5KW	6.5	5590	0-2	0-60	2300	45	7506501050
	TF-LS-8KW	8	6880	0-2	0-60	2865	47	7507001050
	TF-LS-10KW	10	8600	0-2	0-60	2865	47	7507001050
	TF-LS-12KW	12	10320	0-2	0-60	3870	80	12006501200
	TF-LS-15KW	15	12900	0-2	0-60	4600	88	12007151200
	TF-LS-18KW	18	15480	0-2	0-60	5280	105	13507501500
	TF-LS-20KW	20	17200	0-2	0-60	7150	180	13508001600
	TF-LS-23KW	23	19780	0-2	0-60	7150	180	13508001600
	TF-LS-25KW	25	21500	0-2	0-60	9000	195	13508501735
	TF-LS-30KW	30	25800	0-2	0-60	9000	195	135085017358