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形貌儀的分類與特點有哪些?

閱讀:2332        發布時間:2018-6-11
 形貌儀是一種能在同一測試平臺上實現多種材料測試的一種工具。針對不一樣的樣品,或者根據同一樣品的不同區域,或者針對同一樣品的同一區域都可以進行不同模式的調節。目前市面上大多數使用的有白光干涉形貌儀與雙模式三維表面形貌儀,那么兩者之間哪款更好一些呢?

其實,二者不難區分,簡單可以理解為雙模式三維表面形貌儀是在白光干涉形貌儀的基礎上的一種升級。

首先,從掃描模式上,白光干涉形貌儀間距PSI與VSI的模式,而雙模式三維表面形貌儀除了能做到這點之外,利用旋轉盤共焦技術,可以實現快速垂直掃描。

其次,雙模式三維表面形貌儀有著出色的穩定性,無論是機器本身,或是測試出的參數、偏差值等等方面,雙模式三維表面都比白光干涉要穩定。

雙模式
三維表面形貌儀除了兼備白光干涉的所有性能以外,還有一個明顯優勢,那就是它具有光學形貌上高的橫向分辨率,空間下樣調整之后,甚至可以達到0.05um,在形貌測量以及測試物體表面特征的佳配置。

以上就是二者的區別所在啦,看過之后不知道對您有沒有幫助。其實,二者不能說誰優誰劣,在購買時,只要挑選出適合自己的形貌儀就好。

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