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美國SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD

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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 PLD-01/PLD-02
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 國外
在線詢價 收藏產(chǎn)品

更新時間:2025-07-07 14:31:56瀏覽次數(shù):4618

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件
美國SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD產(chǎn)品簡介:
●SVT SMART(Scientific Materials and Applied Research Tool)脈沖激光沉積系統(tǒng)具有*性。它可以把激光燒蝕技術(shù)和我們所擁有的其他沉積技術(shù)(如RF源)集成于一臺設(shè)備上??梢陨L各種可能的材料。
● 配有6個旋轉(zhuǎn)靶臺,實(shí)現(xiàn)多層薄膜結(jié)構(gòu)生長。
● 可與準(zhǔn)分子激光和Yag激光相連。

詳細(xì)介紹

美國SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD應(yīng)用

● 多元素復(fù)合氧化物

● 高溫超導(dǎo)材料

● 磁性材料、金屬材料

● 低蒸汽壓材料

● MEMS


基本系統(tǒng)

腔室及真空泵

12’’ 快速門,250l/s 分子泵,全量程規(guī)


沉積源

靶臺,6X1’’(25mm) 靶,可以水平旋轉(zhuǎn),可Z方向移動


樣品臺

1’’(25mm)大小,可加熱至800oC(1000oC可選),可水平旋轉(zhuǎn),可Z方向移動


在線工藝監(jiān)控

石英晶振沉積速率監(jiān)控儀


自動化

自動化裝置:

控制樣品溫度和旋轉(zhuǎn)

靶臺的位置控制

靶臺旋轉(zhuǎn)

氣體控制

速率及厚度計(jì)算(利用QCM輸出)

激光束掃描(可選)

激光束屏蔽控制

自動泵抽和充氣

差分泵抽結(jié)構(gòu)

RHEED分析(可選)

裝載室壓強(qiáng)監(jiān)控(可選)


美國SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD主要特點(diǎn)
RF射頻等離子源(氧,氮)
升級高真空
增加進(jìn)樣室
升級為Laser-MBE (L-MBE)系統(tǒng)
自動軟件控制

提供更潔凈的薄膜生長環(huán)境,控制解決方案






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