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[供應]PLD-01/PLD-02-美國SVT 脈沖激光沉積設備/PLD
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  • PLD-01/PLD-02-美國SVT 脈沖激光沉積設備/PLD
貨物所在地:
國外
更新時間:
2025-02-16 21:00:07
有效期:
2025年2月16日 -- 2025年8月16日
已獲點擊:
254
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產品簡介

美國SVT 脈沖激光沉積設備/PLD
產品簡介:
●SVT SMART(Scientific Materials and Applied Research Tool)脈沖激光沉積系統具有*的*性。它可以把激光燒蝕技術和我們所擁有的其他沉積技術(如RF源)集成于一臺設備上。可以生長各種可能的材料。
● 配有6個旋轉靶臺,實現多層薄膜結構生長。
● 可與準分子激光和Yag激光相連。
● 在線

詳細介紹


應用

 多元素復合氧化物

 高溫超導材料

 磁性材料、金屬材料

 低蒸汽壓材料

 MEMS


基本系統

腔室及真空泵

    12’’ 快速門,250l/s 分子泵,全量程規


沉積源

  靶臺,6X1’’(25mm) 靶,可以水平旋轉,

Z方向移動


樣品臺

    1’’(25mm)大小,可加熱至800oC1000oC可選),可水平旋轉,可Z方向移動


在線工藝監控

  石英晶振沉積速率監控儀


自動化

自動化裝置:

  控制樣品溫度和旋轉

  靶臺的位置控制

  靶臺旋轉

  氣體控制

  速率及厚度計算(利用QCM輸出)

  激光束掃描(可選)

  激光束屏蔽控制

  自動泵抽和充氣

  差分泵抽結構

    RHEED分析(可選)

  裝載室壓強監控(可選)


主要特點
RF射頻等離子源(氧,氮)
升級高真空
增加進樣室
升級為Laser-MBE (L-MBE)系統
自動軟件控制

提供更潔凈的薄膜生長環境,*的溫度控制解決方案.


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