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澤塔Zeta-300基礎(chǔ)信息

型號：Zeta-300

產(chǎn)品：光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測試系統(tǒng)

品牌：Zeta澤塔

簡介：的3D成像及測試系統(tǒng)（為用戶量身打造的表面輪廓測量設(shè)備，是表面量測領(lǐng)域的選擇）

澤塔Zeta-300儀技術(shù)規(guī)格

Zeta-300產(chǎn)品尺寸(mm)

系統(tǒng)(長X寬X高)：510x725x773

主機(jī)：381x457x102

顯示器：596x449x240

總重量：145lbs/65kg

Zeta-300性能配置 

3D成像:~1秒/點(diǎn)(ZiC)~10秒/點(diǎn)(ZSi)~25秒/點(diǎn)(ZDot)

像素分辨率:0.09μm(0.5x耦合鏡配合100x物鏡)

***小Z軸步距:2nm(壓電陶瓷載臺)13nm(Z軸精密絲杠傳動)

Z軸分辨率：0.5(ZSi)

13nm(Zdot)

重復(fù)性3：7nm(1σ)

光學(xué)輪廓儀Zeta-300系統(tǒng)配置 

相機(jī)選項(xiàng)：640x480,1024x768,1280x960

總放大率：35,000x(光學(xué)和數(shù)字放大)

系統(tǒng)光源：3個大功率白光LED

自動載臺：150mmx150mm(XY方向)

Z軸測試范圍：40mm

澤塔Zeta-300光學(xué)輪廓儀特點(diǎn)

多功能光學(xué)測試模組

·Zeta-300測試系統(tǒng)提供多種光學(xué)測試技術(shù)，滿足用戶各種領(lǐng)域的測試需求：

·ZdotTMZ點(diǎn)陣3維成像技術(shù)，是Zeta所有系列產(chǎn)品的標(biāo)配技術(shù)

·ZIC干涉反襯成像技術(shù)，實(shí)現(xiàn)亞納米級粗糙度表面的成像及量化分析

·ZSI白光差分干涉技術(shù)，搭配任意物鏡實(shí)現(xiàn)Z方向超高分辨率的測量能力

·Zx5白光干涉技術(shù)。保證Z方向高分辨率測量的同時，提供大視野范圍內(nèi)的測量和統(tǒng)計(jì)分析

測試速度快：1分鐘內(nèi)完成所有類型樣品的3D掃描成像及統(tǒng)計(jì)分析，其超高的分辨能力甚至可以對納米級的缺陷進(jìn)行成像。

操作簡單：自動化測試程序，一鍵式操作過程，測試菜單設(shè)置簡單，30分鐘培訓(xùn)速成，結(jié)果輸出直觀。

澤塔Zeta-300應(yīng)用領(lǐng)域

Zeta-300測試系統(tǒng)支持多功能測試選項(xiàng)，根據(jù)客戶實(shí)際需求可配備自動化機(jī)械手臂、全自動分析軟件等。高精度和高重復(fù)性的設(shè)備性能是科研和工業(yè)生產(chǎn)***理想的選擇。如下為實(shí)際應(yīng)用舉例：LED,PSS&缺陷監(jiān)控，PSS和PR的圖案高度、寬度和周期 AOI缺陷測試，包括平片、PSS片、PR片、外延片 2寸、 4寸和6寸吸真空載臺 ，微流體和MEMS器件結(jié)構(gòu)分析，透明或半透明的多層結(jié)構(gòu)分析高縱橫比結(jié)構(gòu)分析，如深溝壑、深井狀結(jié)構(gòu)等靈活的測試工具，如cursors和cross-sections

自動化測試軟件包

·多點(diǎn)自動序列量測

·多種不同視場的三維成像

·自動圖像掃描及拼接

·自動傾斜度及及波度補(bǔ)償

·自動參考面放平自動高度、尺寸、角度和面積測量。