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D07-19CM型質量流量計（D07-19CM Mass Flow Meter）
標 準:
氣體質量流量用氮氣（N2）標定。標準狀態規定為：
標準溫度………………0℃（273.15K）
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,50mA
輸出電壓檢測…………0～+5.00V
技術參數：
| 滿量程流量范圍（N2） | 5SCCM～30SLM | |
| 控制范圍 | 2～100％F.S. | |
| 準確度 | ≤10SLM | ±1％F.S. |
| ＞10SLM | ±2％F.S. | |
| 線性 | ≤10SLM | ±0.5～1％F.S. |
| ＞10SLM | ±2％F.S. | |
| 重復精度 | ±0.2％F.S. | |
| 響應時間 | ≤1sec | |
| 溫度系數 | Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃ | |
| 工作溫度范圍 | 5～ | |
| 工作壓差 | ＜0.02MPa | |
| 耐壓 | 10MPa | |
| 漏氣率 | 1×10-9SCCSHe | |
| 密封材料 | 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠 | |
| 接頭選擇 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
| Swagelok | 1/8”、1/ | |
| 電插頭形式 | DB15 pin（Male） | |
| 抗電磁干擾 | CE | |
| 重量 | 1Kg | |
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