儀器簡介：

HALO 201 MBE 分子束外延殘余氣體分析四極質譜儀用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過程監測和殘余氣體的分析。 該分子束外延特定分析質譜儀由兼容性材料組成，并能在分子束外延環境中長期使用。

主要特點：

1、鉬銅布線增加MBE環境下系統的壽命

2、抗污染離子源護罩

3、雙法拉第/ channelplate電子倍增器

HALO 201 MBE 殘余氣體分析四極質譜儀技術規格：

·質量數范圍：1～300 amu

·掃描速度：100amu/s

·小掃描步階：0.01amu

·靈敏度：0.1 ppm～1ppm

·穩定性：24h以上，峰高變化小于±0.5%

·小檢測分壓：2 x 10-13 mbar

·大工作壓力：1 x 10-4 mbar