電容式傳感器的感應面同兩個同心布置的金屬電極組成，這兩個電極相當于一個非線繞電容器的電極。電極的表面a和b連接到一個高頻振蕩器的反饋支路中，對該振蕩器的調節要使得它在表面自由時不發生振蕩。

當物體接近傳感器的有效表面時，它就進入了電極表面前面的電場，并引起耦合電容發生改變。振蕩器開始發生振蕩，振蕩幅度由一個評價電路記錄下來并被轉換為一個開關命令。

電容式接近開關亦屬于一種具有開關量輸出的位置傳感器，它的測量頭通常是構成電容器的一個極板，而另一個極板是物體的本身，當物體移向接近開關時，物體和接近開關的介電常數發生變化，使得和測量頭相連的電路狀態也隨之發生變化，由此便可控制開關的接通和關斷。電容式接近開關對任何介質都可以檢測，包括導體、半導體、絕緣體，甚至可以用于檢測液體和粉末狀物料。對于非金屬物體，動作距離決定于材質的介電常數，材料的介電常數越大，可獲得的動作距離越大。